1）分辨率（分辨能力）
    多采用波數差（△υ）的大小來表示儀器的分辨率。國產光柵紅外光譜儀的分辨率一般為1～1.5cm-1/1000cm-1。FT-IR儀器的分辨率可達0.5～0.2cm-1。
 1.用聚苯乙烯薄膜為試樣，儀器應在3100～2800cm－1區間分出七個碳氫鍵伸縮振動峰（其中五個不飽和碳氫伸縮峰，兩個飽和碳氫伸縮峰）。依次為:3104 cm-1、3083cm-1、3061 cm-1、 3027cm-1 、3001cm-1 ，2924cm-1 、2851cm-1。
2.也可用聚苯乙烯薄膜的IR光譜圖中，2851cm-1與2924cm-1兩相鄰吸收峰間的分離深度來衡量儀器的分辨率。一般應大于15％。
2）波數準確度及重復性
波數重復性是多次重復測量同一樣品，所得zui大峰位值與zui小峰位值之差。常用0.1mm聚苯乙烯薄膜及茚的紅外光譜上的峰位值，來核對波數（或波長）的準確度。